9200-01-02-10-00振动传感器本特利产品技术规格

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无线振动记录器—VSSⅡ

VSSⅡ可以量测三轴振动、的倾角、温度与湿度。外型轻薄，厚度仅4mm，提供两种尺寸(8吋与12吋)选择。

我需要VSSⅡ吗?

担心设备运作时异常抖动，导致材料损坏、制程发生问题?又或是不确定设备该保养了吗? 维修后的设备是否达到原有的精度水准?

让VSSⅡ来协助有上述困扰的您吧! 它可以量测机械手臂传送晶圆时的振动，高速且完整记录运作过程的振动。平时使用VSSⅡ检测可以知道运作是否异常，需不需要保养；维修后检测则能确认运作是否达到以往水准。

想要确保设备运作顺畅，避免制程发生问题与材料耗损，就让VSSⅡ来替你把关。

VSSⅡ系统特色

无线量测技术，连续记录可达4小时。

内建感测器，可量测三轴振动、倾角、温度、湿度。

量测软体可做频谱、角度、趋势分析。

应用范围：自动仓储、AGV无人搬运车、Wafer robot晶圆机械手臂、FOUP、OHT、Wafer stocker等振动与倾角检测。

根据成都云图控股股份有限公司采购管理制度，本着“公开、公平、公正、诚信”的原则，诚邀具备投标资格供应商参加投标。

1 项目概况
1.1 项目名称：应城化工关于轴向位移传感器和振动传感器的采购项目231107
1.2 项目编号：ZB-2311-0420
1.3 交货地点和时间：按实际订单地址及交期要求；
1.4 物资名称及数量：

2 投标人资格要求
2.1 具有立法人资格；
2.2 具有本项目相应履约能力；
2.3 未被纳入成都云图控股股份有限公司供应商“”。